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無(wú)油真空泵機(jī)組結(jié)構(gòu)合理、選用的材料適當(dāng)、動(dòng)平衡性能良好、振動(dòng)小、噪音低、密封性能好及易損件壽命長(zhǎng)等。其真空泵腔內(nèi)無(wú)油潤(rùn)滑，不產(chǎn)生廢水、廢氣，可獲潔凈真空，對(duì)于化工設(shè)備進(jìn)行的化學(xué)反應(yīng)中的反應(yīng)介質(zhì)不會(huì)因?yàn)檎婵毡玫呐懦龆淖兯男再|(zhì)，所以有利于尾氣潔凈回收。

無(wú)油真空泵機(jī)組的重要組成部件：

1.機(jī)械傳動(dòng)部件：由電機(jī)通過(guò)三角帶傳動(dòng)，驅(qū)動(dòng)曲柄滑塊結(jié)構(gòu)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，滑塊（十字頭）將往復(fù)運(yùn)動(dòng)通過(guò)活塞桿傳遞給活塞。

2.吸、排氣部件：活塞（安裝有封氣的F4活塞環(huán)），在氣缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)形成缸內(nèi)氣體的膨脹和壓縮，并通過(guò)軸向布置的進(jìn)排氣閥完成吸、排氣動(dòng)作。

3.輔助功能部件：曲軸箱內(nèi)的潤(rùn)滑油通過(guò)濺油或油泵泵油潤(rùn)滑有關(guān)運(yùn)動(dòng)件，上部冷卻水（0.2bar）帶走氣體壓縮產(chǎn)生的熱量，氣缸內(nèi)活塞環(huán)采用F4自潤(rùn)滑材料，無(wú)需另加油潤(rùn)滑。

4.填料密封部件：分為普通型和特殊性

5.普通型：選用聚四氟乙烯或橡膠類(lèi)骨架油封

6.特殊性：專(zhuān)門(mén)針對(duì)易燃易爆氣體（如co，干氣、甲烷氣等各種對(duì)環(huán)境要求較高的氣體）。使用時(shí)通入具有一定壓力，一定流量（參照工藝工況選擇）的氮?dú)?，?jīng)過(guò)兩次節(jié)流后，與泄漏到混合腔的工質(zhì)混合，引到系統(tǒng)外，從而避免了工質(zhì)氣體泄漏到環(huán)境中引發(fā)危險(xiǎn)，避免了空氣進(jìn)入氣缸污染原料。

7.隔腔：為防止填料部件實(shí)效引起物料泄漏，污染曲軸箱內(nèi)潤(rùn)滑油，加裝隔腔部件，從而徹底隔絕過(guò)流部分和運(yùn)動(dòng)部件的接觸途徑，保證真空系統(tǒng)的無(wú)油。特別適用于物料具有一般腐蝕性，對(duì)機(jī)油有較強(qiáng)敏感度或要求較高清潔度的尾氣回收等環(huán)境。